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1. ICP光譜儀需檢測的各元素之間不會發生化學反應或對某些產生貢獻值.
2. 應根據元素的性質進行確定
3. 用稀酸作為母液。硝酸效果比鹽酸好，推薦用3%得酸。住一個元素之間的貢獻值。配制時。儀器最好用濃的硫酸或重鉻酸鉀洗。再用乙醇洗。保證沒有雜質。再配制
4. 把各個不同濃度的標準溶液加到同一個容量瓶里的，最后用5％的鹽酸或硝酸定容即可。注意，各元素之間要不相互反應。