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根據原子的特征發射光譜來研究物質的結構和測定物質的化學成分的方法稱為“原子發射光譜分析”。原子發射光譜法是光學分析法中產生與發展最早的一種。 原子發射光譜儀是利用物質在熱激發或電激發下，每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，而進行元素的定性與定量分析的方法。
發射光譜通常用化學火焰、電火花、電弧、激光和各種等離子體光源激發而獲得。
目前最廣泛應用的原子發射光譜光源是等離子體。包括：
電感耦合等離子體（Inductively Coupled Plasma,ICP）
直流等離子體（Direct-current Plasma,DCP）
微波等離子體（Microwave Plasma,MWP）
原子發射光譜的產生基本原理：
通常情況下，原子處于基態，在激發光作用下，原子獲得足夠的能量，外層電子由基態躍遷到較高的能級狀態即激發態。處于激發態的原子是不穩定的，其壽命小于10-8s，外層電子就從高能級向較低能級或基態躍遷。多余能量以電磁輻射的形式發射出去，從而產生發射光譜。這樣產生的光譜是線狀光譜。
譜線波長與能量的關系如下：λ=hc/ (E2-E1 )
式中E2、E1分別為高能級與低能級的能量，
λ為波長，h為Planck常數，c為光速。
處于高能級的電子經過幾個中間能級躍遷回到原能級，可產生幾種不同波長的光，在光譜中形成幾條譜線。一種元素可以產生不同波長的譜線，它們組成該元素的原子光譜。
不同元素的電子結構不同，其原子光譜也不同，具有明顯的特征。
由于待測元素原子的能級結構不同，因此發射譜線的特征不同，據此可對樣品進行定性分析；
而根據待測元素原子的濃度不同，因此發射強度不同，可實現元素的定量測定。
分析過程主要分三步：激發、分光、檢測
1、激發：利用激光光源使試樣蒸發氣化，離解或分解為原子狀態，原子也可以進一步電離成離子狀態，原子或離子在光源中激光發光。
2、分光：利用光譜儀器把光源發射的光分解為按波長排列的光譜
3、檢測：利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發射光強度進行定量分析。
