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一、使用環(huán)境
與其它大型精密儀器要在一定的環(huán)境下運行，否則使用效果不好，而且改變儀器的檢測性能，甚至造成損壞，縮短壽命。根據光學儀器的特點，對環(huán)境溫度和濕度有一定要求。如果溫度變化太大，光學組件受溫度變化的影響就會產生譜線漂移，造成測定數(shù)據不穩(wěn)定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個固定溫度，溫度變化應小于±1攝氏度。而環(huán)境濕度過大，光學組件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低。電子系統(tǒng)，尤其是印刷電路板及高壓電源上的組件容易受潮燒壞。濕度對高頻發(fā)生器的影響也十分重要，濕度過大，輕則等離子體不容易點燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀組件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網絡中的可變電容放電等，以至損壞高頻發(fā)生器。一般室內濕度應小于百分之70，最好控制在百分之45～60之間，應有空氣凈化裝置。過去由于基建施工，我們的環(huán)境條件很差，甚至儀器室多次被水淹，受潮及室溫變化過大，儀器不是定位困難就是經常發(fā)生故障。搬到新的儀器室后條件改善了，儀器運行就正常多了。
二、供電符合要求
為了保證ICP光譜儀的安全運行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運行時線路的電壓降過大，影響儀器壽命。作為一臺精密測量儀器，它還需要有相對穩(wěn)定的電源，供電電壓的變化一般不超過十百分之5，如超過這個范圍，需要使用自動調壓器或磁飽和穩(wěn)壓器，不能使用電子穩(wěn)壓器，由于電子穩(wěn)壓器在電壓高時產生削波，造成電脈沖，影響電子計算機、微處理器及相敏放大器的工作，引起誤動作。連續(xù)正弦波電源才能保證這些電子電路的正常工作，儀器供電線路最好單獨從供電變壓器的配電盤上得到，盡量不與大電機，大的通風機，空調機，馬弗爐等大的用電設備共享一條供電線路，以免在這些用電設備起動時，供電線路的電壓大幅度的波動，造成儀器工作不穩(wěn)定。允許電流大于30安培的儀器要單獨接地。一般光譜儀地線電阻要小于5歐姆，計算機地線電阻要小于0.25歐姆（ASTM）標準，以防相互干擾。
在儀器的使用中，應經常注意電源的變化，不能長期在過壓或欠壓下工作，根據資料介紹，當儀器在過壓下工作會造成高頗發(fā)生器功率大管燈絲過度的蒸發(fā)和老化，電子管的壽命將會大大的縮短（是正常壽命的五分之～一六分之一）。如果在欠壓下工作，電子管燈絲溫度過低，電子發(fā)射不好，也容易造成電子發(fā)射材料過早老化，同樣也縮短電子管的壽命；儀器運行中供電電壓的較大波動同樣也會造成高頻發(fā)生器輸出功率的不穩(wěn)定，對測定結果的好壞影響極大，因此，應當注意供電電源的質量。
三、注意防塵
國內一般實驗室都不具備防塵、過濾塵埃的設施，當實驗室內需要采用排風機，排除儀器的熱量及工作時產生的有毒氣體時，實驗室與外部就形成壓力差，實驗室產生負壓，室外含有大量灰塵的空氣從門窗的縫隙中流入室內，大量積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路、漏電等各種各樣的故障，因此，需要經常進行除塵。特別是計算機、電子控制電路、高頻發(fā)生器、顯示器、打印機、磁盤驅動器等，定期拆卸或打開，用小毛刷清掃，并同時使用吸塵器將各個部分的積塵吸除。對光電倍增管負高壓電源線、及計算機顯示器的高壓線及接頭，還要用紗布沾上少許無水酒精小心的抹除積炭和灰塵。磁盤驅動器及打印機清出灰塵之后，要在機械活動部件滴加少許儀表油。打印機的打印頭還要拆下，用軟毛刷刷掃，并用絨布抹凈，防止針孔被紙屑堵塞，然后按照說明書調整一定的打印壓力。對于儀器除塵，一般由電子，儀修或計算機的專業(yè)人員幫助，儀器使用或管理人員如不懂電子知識，不了解儀器結構，不要輕易去動，以免發(fā)生意外，除塵應事先停機并關掉供電電源下進行。
四、氣體控制系統(tǒng)維護保養(yǎng)
ICP的氣體控制系統(tǒng)是否穩(wěn)定正常地運行，直接影響到儀器測定數(shù)據的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩(wěn)定，因此，對氣體控制系統(tǒng)要經常進行檢查和維護。首先要做氣體試驗，打開氣體控制系統(tǒng)的電源開關，使電磁閥處于工作狀態(tài)，然后開啟氣瓶及減壓閥，使氣體壓力指示在額定值上，然后關閉氣瓶，觀察減壓閥上的壓力表指針，應在幾個小時內沒有下降或下降很少，否則氣路中有漏氣現(xiàn)象，需要檢查和排除。第二，由于氬氣中常夾雜有水分和其它雜質，管道和接頭中也會有一些機械碎屑脫落，造成氣路不暢通。因此，需要定期進行清理，拔下某些區(qū)段管道，然后打開氣瓶，短促地放一段時間的氣體，將管道中的水珠，塵粒等吹出。在安裝氣體管道，特別是將載氣管路接在霧化器上時，要注意不要讓管子彎曲太厲害，否則載氣流量不穩(wěn)而造成脈動，影響測定。
五、進樣系統(tǒng)及炬管的維護
霧化器是進樣系統(tǒng)中最精密，最關鍵的部份，需要很好的維護和使用。要定期的清理，特別是測定高鹽溶液之后，霧化器的頂部，炬管噴嘴會積有鹽份，造成氣溶膠通道不暢，常常反映出來的是測定強度下降，儀器反射功率升高等。炬管上積塵或積炭都會影響點燃等離子體焰炬和保持穩(wěn)定，也影響反射功率，因此，要定期用酸洗，水洗，最后，用無水乙醇洗并吹干，經常保持進樣系統(tǒng)及炬管的清潔。ICP矩管是較易出現(xiàn)故障的部位，其常見的故障分析如下：
故障1：矩管點燃，循環(huán)水指示燈時閃時斷，火焰突滅不能工作。
原因：（1）循環(huán)水冷卻，系統(tǒng)泵壓不足。
（2）磁動儀表保護開關預值過高，經常處于長閉狀態(tài)，出現(xiàn)假保護現(xiàn)象。
檢修：（1）在原有的循環(huán)水管路中串接增壓泵，增加整個水管路中的壓力。
（2）除去磁儀表開關，使水流直接進入矩管系統(tǒng)，保持長流水。
故障2：反射功率超設定值，矩管源點不著火。
原因：集成板741無輸出正電壓信號，使反射功率無法調整，控制電路失調，片子損壞。
檢修：更換集成塊741
故障3：按矩管電源前面板RF-ON鍵，點不著火，矩管高壓耦合電容連續(xù)抖動，按鍵，燈不斷閃動，電容打火放電。
原因：高壓耦合雙連電容的高壓多股鍍銀線接觸不良，不斷打火發(fā)紅，電容值改變不穩(wěn)，導致矩管能量不能按預設值耦合，故無法點燃矩管。
檢修：利用外套屏蔽鍍銀線的電纜代替高壓連線，用銀焊接上。
六、使用中盡量減少開停機次數(shù)
開機測定前，必須做好安排，事先標好各項準備工作，切忌在同一段時間里開開停停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，這是因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流大大高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，碰極短路及過早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦開機就一氣呵成，把要做的事做完，不要中途關停機。
七、注意事項
（1）進樣前進樣系統(tǒng)的檢查。
（2）測定后進樣系統(tǒng)的檢查和清洗。
（3）廢液桶中的廢液要經常清理。
（4）炬管，霧化器，霧室的清洗。
（5）冷卻水，真空泵油，分子篩的定期更換。
